異質結PVD成套設備（RSP-28800-210B型）
關鍵詞：
泛半導體高端工藝裝備制造商、智能制造和整線集成解決方案提供商
異質結PVD成套設備（RSP-28800-210B型）
異質結PVD成套設備（RSP-28800-210B型）
———————
主要用于HJT電池TCO膜層沉積，采用直流脈沖等離子體物理氣相沉積技術，雙面沉積約110nm的導電氧化
物或金屬薄膜。
設備特點
· 大產能設計，210半片，360片/載板，28800pcs/h
· 載板跨度方向載片量更多，陰極配置同比減少20%
· 可調高磁場強度的旋轉陰極，靶材利用率高
· 具備隔離濺射多層鍍膜功能，工藝窗口更寬
· 擁有符合TCO工藝的設備自動化配套解決方案
· 模塊化設計，面向未來的可擴展定制化技術平臺
下一頁
產品留言
微信公眾號
微信視頻號