EPD邊緣鈍化設(shè)備
關(guān)鍵詞：
泛半導(dǎo)體高端工藝裝備制造商、智能制造和整線集成解決方案提供商
EPD邊緣鈍化設(shè)備
EPD邊緣鈍化設(shè)備
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成品電池片切割后，切割導(dǎo)致晶格斷裂形成表面缺陷，并且切割面易附著水汽及其他雜質(zhì)，從而影響電池片效率和可靠性；采用邊緣鈍化
設(shè)備對(duì)半片切割面進(jìn)行沉積鈍化保護(hù)薄膜，有效減少電池復(fù)合，提高電池及組件綜合效率和可靠性。
設(shè)備特點(diǎn)
· 薄膜定向沉積，無(wú)繞鍍
· 設(shè)備產(chǎn)能高，化學(xué)品用量低，整體COO低
· 設(shè)備自帶在線自動(dòng)清洗腔室和載板，維護(hù)簡(jiǎn)單
· 疊層膜設(shè)計(jì)，既保證鈍化效果，又可提升可靠性
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